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設定値入力後1秒未満で流量安定！高精度・高信頼のメタルシールモデル！
『Aera FC-R7800シリーズ』は、高精度の流量制御を行うだけでなく、 メタルシールによる優れた高い気密性を備えたシステムです。 主要なガス制御アプリケーションに適しています。 ⾼感度、⾼速応答性の⼩型センサーを搭載するなど技術の進歩により、 優れた制御性を発揮します。 【特長】 ■耐腐食設計 ■メタルシール採用 ■VCR、Swagelok互換の接続部 ■10sccm～200slmのフルスケール流量レンジ ■ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
包括的な通信・制御！コスト削減に寄与する汎用性に優れたマスフローコントローラ
『Aera Transformer』は、CAD、PVD、拡散、エッチングなど様々な アプリケーションに適したデジタルマスフローコントローラです。 当製品が生み出す薄膜成長とエッチング特性は、優れた均質性とともに 高い再現性を誇ります。 優れた応答性、正確性、再現性によって、装置の生産性と生産歩留まりが 向上します。 【特長】 ■マルチガス・マルチレンジ ■高速応答性 ■100％メタルシール・高純度設計 ■DeviceNet、RS-485、アナログ制御対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
優れた性能、運用汎用性、簡単な操作性を兼ね備え、大幅なコスト削減に寄与します
『Aera FC-DR980』は、優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する デジタルマスフローコントローラです。 高品質の電子部品と耐久性に富む設計により、過酷な操作に耐え、1年以上 経過してもフルスケール流量の0.5％以下という優れた長期的ゼロドリフト 安定性を発揮します。 【特長】 ■アナログ、アナログ/デジタル、デジタルのモード選択可能 ■ピエゾ制御バルブ ■各種のアラーム/診断機能 ■使用ガスおよび流量レンジの選択可能 ※マルチガス・マルチレンジ仕様モデルにより対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
